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书目详细信息： Advances in Metrology for X-RAY and Euv Optics V Vol.9206

ISBN/价格：	978-1-6284-1233-8:RMB130
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advances in Metrology for X-RAY and Euv Optics V Vol.9206/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2014.8
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20130603

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