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书目详细信息： Photomask and next-generation lithography mask technology XVI Vol.7379

ISBN/价格：	0-8194-7656-2:RMB880
题名责任者项：	Photomask and next-generation lithography mask technology XVI Vol.7379/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2009.4
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20100422

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