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书目详细信息： Optical microlithography XVIII V.5754( part 3-1)

ISBN/价格：	0-8194-5734-5:RMB1830
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical microlithography XVIII V.5754( part 3-1)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.3
载体形态项：	610p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060104

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