书目详细信息
： Advances on resist tchnology and processing III V.631
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-666-1:￥275.35 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Advances on resist tchnology and processing III V.631/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1986.3 |
| 载体形态项： | 346页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 记录来源： | CN 20061128 |