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书目详细信息： 19th Annual Symposium on Photomask Technology. V.3873

ISBN/价格：	0-8194-3468-X:1521.04元
题名责任者项：	19th Annual Symposium on Photomask Technology. V.3873/. SPIE
出版发行项：	Monterey:,SPIE:,1999.9
载体形态项：	1022页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.3873
记录来源：	20001027

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