书目详细信息
： Developments in semiconductor microlithography V. 80
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-107-4:￥22.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Developments in semiconductor microlithography V. 80/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1976.6 |
| 载体形态项： | 146页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘S symposium on microlithography |
| 题名主题： | MEASUREMENTS |
| 题名主题： | MASK |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY |
| 记录来源： | CN 20061109 |