图书馆

登录

书目详细信息： 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿

书目信息  机读格式(MARC)

《投影光刻物镜的光学设计与像质补偿》

ISBN/价格：	80.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220170
题名责任者项：	投影光刻物镜的光学设计与像质补偿/.许伟才著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2011.04
载体形态项：	131页:;+图:;+29cm
个人名称等同：	许伟才著
记录来源：	CN 20111122

总体评分：（共0人）

我的评分：

收藏加入课程

相关资源

馆藏信息  附件信息  评论信息  相关借阅  借阅趋势  参考书目

借阅关系图

相关资源

二维码

《投影光刻物镜的光学设计与像质补偿》二维码