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书目详细信息： Microlithography and metrology in micromachining II V.2880

ISBN/价格：	0-8194-2278-9:￥92.00
题名责任者项：	Microlithography and metrology in micromachining II V.2880/.SPIE
出版发行项：	Austin, Texas:,SPIE:,1996.10
载体形态项：	296页
一般附注：	SPIE‘s microelectronic manufacturing
个人名称等同：	SPIE

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