书目详细信息
： 微系统设计与制造
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-15196-8:CNY59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微系统设计与制造/.王喆垚编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2008 |
| 载体形态项： | 15,648页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 清华大学信息科学技术学院教材——微电子光电子系列 |
| 提要文摘： | 本书介绍了微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件。内容包括：微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统、光学微系统等。 |
| 并列题名： | Microsystem design and fabrication eng |
| 题名主题： | 微电子技术 高等学校 教材 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 个人名称等同： | 王喆垚 编著 |