书目详细信息
： Design technology co-optimization in the era of sub-resolution ic scaling TT.104
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 9781628419054:RMB449 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Design technology co-optimization in the era of sub-resolution ic scaling TT.104/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2016 |
| 载体形态项： | 158p:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20161008 |