书目详细信息
： Selected papers on optical MEMS V. MS 153
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3129-X:1500.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Selected papers on optical MEMS V. MS 153/.By SPIE/. |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999 |
| 载体形态项： | 628页:;+16开 |
| 丛编项： | SPIE milestone series V. MS 153 |
| 题名主题： | microelectronics microelectromechanical systems |
| 记录来源： | CN 20020331 |