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书目详细信息： 集成电路工艺与设备

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《集成电路工艺与设备》

ISBN/价格：	7-:￥0.80
题名责任者项：	集成电路工艺与设备/.北京半导体器件二厂资料室译
版本项：	1
出版发行项：	北京:,科学出版社:,1972.5
载体形态项：	396页:;+32开
个人名称等同：	北京半导体器件二厂资料室译
记录来源：	/ /

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