书目详细信息
： In-line characterization techniques for performance and yield ehancement in microelectronic manufac.
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2968-6:￥99.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | In-line characterization techniques for performance and yield ehancement in microelectronic manufacturing II V.3509/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1998.9 |
| 载体形态项： | 244页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3509 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3509 |
| 一般附注： | 增强微电子加工性能和效率的在线特征分析技术 |
| 个人名称等同： | SPIE |