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书目详细信息： Integrated circuit metrology inspection,and process control XI V.2439

ISBN/价格：	0-8194-1787-4:190.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Integrated circuit metrology inspection,and process control XI V.2439/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1995
载体形态项：	514页:;+16开
记录来源：	CN 20010716

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