书目详细信息
： Process,equipment,and materials control in integrated circuit manufacturing IV V.3507
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2966-X:￥127.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Process,equipment,and materials control in integrated circuit manufacturing IV V.3507/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1998.9 |
| 载体形态项： | 322页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3507 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3507 |
| 一般附注： | 集成电路的加工工艺,使用设备及材料的控制 (IV) |
| 个人名称等同： | SPIE |