书目详细信息
： Optical/laser microlithography II V.1088
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0123-4:￥335.36 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical/laser microlithography II V.1088/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1989.3 |
| 载体形态项： | 572页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | MASK |
| 题名主题： | EXCIMER LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | EXCIMER LASER |
| 记录来源： | CN 20061204 |