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书目详细信息： Optical microlithography V V.633

ISBN/价格：	0-89252-668-8:￥275.35
题名责任者项：	Optical microlithography V V.633/.by SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1986.3
载体形态项：	309页:;+16开
一般附注：	SPIE‘s symposium on microlithography
记录来源：	CN 20061128

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