书目详细信息
： Microlithography and metrology in micromachining III V.3225
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2657-1:￥45.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Microlithography and metrology in micromachining III V.3225/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin:,SPIE:,1997.9 |
| 载体形态项： | 134页 |
| 一般附注： | SPIE conference on microlithography and metrology in micromachining |
| 个人名称等同： | SPIE |