书目详细信息
： Materials and device characterization in micromachining III V.4175
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3831-6:RMB715.00 |
|---|---|
| 作品语种： | en |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Materials and device characterization in micromachining III V.4175/. SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2000.9 |
| 载体形态项： | 200页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. V.4175 |
| 记录来源： | CN 20010320 |