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书目详细信息： Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS. V.3878

ISBN/价格：	0-8194-3475-2:941.85
题名责任者项：	Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS. V.3878/. SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1999.9
载体形态项：	426页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.3878
记录来源：	20001027

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