书目详细信息
： Design,test,and microfabrication of MEMS and MOEMS V.3680 part 2-1
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3154-0:￥218.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Design,test,and microfabrication of MEMS and MOEMS V.3680 part 2-1/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999.3 |
| 载体形态项： | 580页:;+16开 |
| 一般附注： | Proceedings of SPIE V.3680 part 2-1 |
| 题名主题： | microfabrication |
| 题名主题： | MOEMS |
| 题名主题： | MEMS |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 04/17/00 |