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书目详细信息： MOS集成电路工艺和质量控制手册

ISBN/价格：	7-:￥0.70
题名责任者项：	MOS集成电路工艺和质量控制手册/.上海半导体器件研究所器件研究室编
版本项：	1
出版发行项：	上海:,上海半导体器件研究所:,1979
载体形态项：	42页:;+16开
个人名称等同：	上海半导体器件研究所器件研究室编
记录来源：	/ /

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