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书目详细信息： Optical lithography Field Guides(FG)06

ISBN/价格：	978-0-8194-6207-7:RMB310
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical lithography Field Guides(FG)06/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.3
载体形态项：	122p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20101228

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