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书目详细信息： 薄膜技术资料—溅射工艺部分

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《薄膜技术资料—溅射工艺部分》

ISBN/价格：	7-:￥3.25
题名责任者项：	薄膜技术资料—溅射工艺部分/.北京仪器厂编
版本项：	1
出版发行项：	北京:,北京仪器厂:,1982
载体形态项：	168页:;+16开
题名主题：	薄膜技术
题名主题：	真空镀膜技术
题名主题：	薄膜淀积
个人名称等同：	北京仪器厂编
记录来源：	/ /

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