书目详细信息
： Integrated circuit metrology, inspection, and process control II V.921
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-956-3:￥302.91 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Integrated circuit metrology, inspection, and process control II V.921/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1988.2 |
| 载体形态项： | 458页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | INTEGRATED CIRCUIT (IC) |
| 题名主题： | PROCESS CONTROL |
| 题名主题： | METROLOGY |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 记录来源： | CN 20061201 |