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书目详细信息： Optical microlithography XVII V.5377(part3-2)

ISBN/价格：	0-8194-5290-4:RMB0.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical microlithography XVII V.5377(part3-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.2
载体形态项：	615-1314p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050110

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