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书目详细信息： EMLC 2005 21st european mask and lighography conference V.5835

ISBN/价格：	0-8194-5830-9:RMB310
作品语种：	eng
题名责任者项：	EMLC 2005 21st european mask and lighography conference V.5835/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.1
载体形态项：	302p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060111

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