书目详细信息
： Device and process technologies for microelectronics,MEMS,photonics,and nanotechnology IV Vol.
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-6971-7:RMB480 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Device and process technologies for microelectronics,MEMS,photonics,and nanotechnology IV Vol.6800/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2007.12 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20080701 |