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书目详细信息： Materials and Device Characterization in Micromachining II. V.3875

ISBN/价格：	0-8194-3472-8:837.10元
题名责任者项：	Materials and Device Characterization in Micromachining II. V.3875/.SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1999.9
载体形态项：	256页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.3875
记录来源：	20001027

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