书目详细信息
： In-line methods and monitors for process and yield imrovement V.3884
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3481-7:￥130.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | In-line methods and monitors for process and yield imrovement V.3884/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999.9 |
| 载体形态项： | 334页:;+16开 |
| 一般附注： | Proceedings of SPIE V.3884 |
| 题名主题： | optical process |
| 题名主题： | yield improvement |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 04/18/00 |