书目详细信息
： Microelectronic structures and MEMS for optical processing II V.2881
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2279-7:￥65.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Microelectronic structures and MEMS for optical processing II V.2881/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin:,SPIE:,1996.10 |
| 载体形态项： | 220页 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on micromachining and microfabrication |
| 个人名称等同： | SPIE |