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书目详细信息： Smart sensors,acutators,and MEMS III V.6589

ISBN/价格：	0-8194-6717-1:RMB600
作品语种：	eng
题名责任者项：	Smart sensors,acutators,and MEMS III V.6589/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2007.4
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20080109

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