书目详细信息
： Metrology,Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. V.3998
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3616-X:1776.88元 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Metrology,Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. V.3998/. SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,2000.3 |
| 载体形态项： | 938页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3998 |
| 记录来源： | 20111109 |