书目详细信息
： Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing II
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2004-2:￥143.50 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing II V.2638/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin:,SPIE:,1995.10 |
| 载体形态项： | 302页 |
| 一般附注： | Microelectronic manufacturing |
| 个人名称等同： | SPIE |