书目详细信息
： 16th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. V.3996
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3614-3:765.44元 |
|---|---|
| 题名责任者项： | 16th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. V.3996/. SPIE |
| 出版发行项： | Munich:,SPIE:,1999.11 |
| 载体形态项： | 252页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3996 |
| 记录来源： | 20111109 |