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书目详细信息： Optical microlithography XXVI Vol.8683

ISBN/价格：	978-0-8194-9465-8:RMB1360
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical microlithography XXVI Vol.8683/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2013.2
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20130603

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