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书目详细信息： 25th european mask and lithography conference Vol.7470

ISBN/价格：	0-8194-7770-5:RMB470
题名责任者项：	25th european mask and lithography conference Vol.7470/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2009.8
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20100422

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