书目详细信息
： Process,equipment,and materials control in integrated circuit manufacturing V V.3882
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3479-5:￥123.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Process,equipment,and materials control in integrated circuit manufacturing V V.3882/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999.9 |
| 载体形态项： | 310页:;+16开 |
| 一般附注： | Proceedings of SPIE V.3882 |
| 题名主题： | integrated circuit |
| 题名主题： | materials control |
| 题名主题： | manufacturing |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 04/17/00 |