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书目详细信息： Advanced processes for 193-nm immersion lighography PM.189

ISBN/价格：	978-0-8194-7557-2:RMB742
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advanced processes for 193-nm immersion lighography PM.189/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2008
载体形态项：	315p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20100324

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