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书目详细信息： Optical inspection and metrology for non-optics industries V.7432

ISBN/价格：	978-0-8194-7722-4:RMB440
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical inspection and metrology for non-optics industries V.7432/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2009.8
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20101116

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