书目详细信息
： Handbook of Microlithography,Micromachining, and Microfabrication.Vol.2:Micromachining and Microfab.
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2379-3:1125.73元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | Handbook of Microlithography,Micromachining, and Microfabrication.Vol.2:Micromachining and Microfabrication V. PM40/. SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1997 |
| 载体形态项： | 692页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE PM.40 |
| 记录来源： | CN 2001105 |