书目详细信息
： Emerging lithographic technologies III V.3676 part 2-2
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3150-8:￥162.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Emerging lithographic technologies III V.3676 part 2-2/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999.3 |
| 载体形态项： | 425-864页:;+16开 |
| 一般附注： | Proceedings of SPIE V.3676 part 2-2 |
| 题名主题： | emerging lithographic technology |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 04/18/00 |