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书目详细信息： Micromachined devices and components V.2642

ISBN/价格：	0-8194-2008-5:￥95.00
题名责任者项：	Micromachined devices and components V.2642/.SPIE
出版发行项：	Austin, Texas:,SPIE:,1995.10
载体形态项：	296页
一般附注：	SPIE‘s symposium on micromachining and microfabrication
个人名称等同：	SPIE

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