书目详细信息
： Integrated circuit metrology II V.480
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-515-0:￥70.93 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Integrated circuit metrology II V.480/.by SPIE |
| 出版发行项： | Arlington:,SPIE:,1984.5 |
| 载体形态项： | 172页:;+16开 |
| 一般附注： | Technical symposium east |
| 题名主题： | INTEGRATED CIRCUIT (IC) |
| 题名主题： | METROLOGY |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | OPTICL TEST |
| 记录来源： | CN 20061127 |