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书目详细信息： Smart sensors,actuators,and MEMS IV Vol.7362

ISBN/价格：	0-8194-7636-4:RMB570
题名责任者项：	Smart sensors,actuators,and MEMS IV Vol.7362/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2009.5
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20100421

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