书目详细信息
： Micromachining and Microfabrication Process Technology Ⅴ. V.3874
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3471-X:￥165.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Micromachining and Microfabrication Process Technology Ⅴ. V.3874/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1999.9 |
| 载体形态项： | 434页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. Vol.3874 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. Vol.3874 |
| 题名主题： | Micromachining |
| 题名主题： | Microfabrication Process Technology |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 08/16/00 |