书目详细信息
： Device and process technologies for MEMS,microelectronics,and photonics III V.5276
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-5169-X:RMB1235.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Device and process technologies for MEMS,microelectronics,and photonics III V.5276/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2003.12 |
| 载体形态项： | 566p:;+ill.:;+26cm |
| 记录来源： | CN 20040824 |