书目详细信息
： Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication V.1138
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0174-9:￥366.54 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication V.1138/.by SPIE |
| 出版发行项： | Paris, France:,SPIE:,1989.4 |
| 载体形态项： | 206页:;+16开 |
| 一般附注： | International congress on optical science and engineering (ECO2) |
| 记录来源： | CN 20061204 |